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日本YAMADA山田光學(xué)半導(dǎo)體檢查燈高輝度鹵素光源裝置

更新時(shí)間:2024-04-20      瀏覽次數(shù):1025

日本YAMADA山田光學(xué)半導(dǎo)體檢查燈的產(chǎn)品介紹:


這是一種光源裝置,通過(guò)使用用于檢查 Si 晶圓和玻璃表面上的劃痕的照明光源提供 400,000Lux(30Φ)或更高的照明,可以觀察到細(xì)微的劃痕。

日本YAMADA山田半導(dǎo)體檢查燈產(chǎn)品特點(diǎn):

1、可照亮樣品表面400,000Lx以上。

2、光源采用鹵素?zé)簦珳馗?,照度不均小,光線極其穩(wěn)定銳利。

3、采用冷鏡,熱量的影響極大地降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3。

4、兩級(jí)切換機(jī)構(gòu),一鍵實(shí)現(xiàn)高照度觀察和低照度觀察。

YP-150I 照度范圍:30mmφ

YP-250I 照度范圍:60mmφ


日本yamada山田光學(xué) 高輝度鹵素光源裝置

YP-150I 表面檢查燈 YP-250I

  基本信息高強(qiáng)度鹵素光源裝置

  超精密平面檢測(cè)的理想選擇!通過(guò)驚人的照明,可以檢測(cè)小于 0.2 μm 的缺陷。

  “YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置,用于檢測(cè)

  最終成品表面上的各種缺陷,如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等,是半導(dǎo)體加工過(guò)程中勞動(dòng)強(qiáng)度的一種。晶圓和液晶板

  ...

  樣品表面的照度可超過(guò) 400,000 Lx。

  另外,由于采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,色溫高?/p>

  光照不均勻的情況很少,光照***穩(wěn)定銳利。

  姊妹機(jī)“YP-250I"也可用于 8 英寸。

  [特點(diǎn)]

  ■ 光源采用鹵素?zé)?/p>

  ■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高

  ■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3

  ■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換

  請(qǐng)用于超精密平面檢測(cè)!

  高亮度鹵素光源裝置“YP-250I"是用于檢測(cè)劃痕、拋光不均勻、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置。

  采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗珳馗?,減少照明不均,照明***穩(wěn)定銳利。

  此外,本機(jī)為“YP-150I"的姊妹機(jī),有螺旋槳風(fēng)機(jī)型和管道風(fēng)機(jī)型可供選擇,可根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行使用。

  【特點(diǎn)】

  ■ 可照射400,000 Lx以上的樣品表面

  ■ 可選擇螺旋槳式和風(fēng)道式

  ■ 使用冷鏡,熱影響是傳統(tǒng)的1/3

  ■ 高照度觀察和低照度照度觀察是一鍵式 可以

  ■ 8inch 兼容

  [照明范圍]

  ■ YP-150I… 照度范圍 φ30

  ■ YP-250I… 照度范圍 φ60



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