日本kk-ace壓力控制器內(nèi)置傳感器高精度測(cè)量 AP250/AP500 特點(diǎn)介紹

AP250、AP500是適合半導(dǎo)體制造工序等中使用的潔凈氣體的壓力控制的大流量型控制器，由氣壓控制部（相當(dāng)于AP100N）和圓頂型調(diào)節(jié)器部構(gòu)成。

　另外，外部附有壓力傳感器，傳感器的信號(hào)輸入到氣動(dòng)控制部分，控制氣動(dòng)控制組中的閥門的開/關(guān)，以調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)器部分中圓頂?shù)膬?nèi)部壓力。 ，并自動(dòng)控制外殼壓力以匹配任何設(shè)定壓力值。也可通過(guò)外接流量傳感器作為流量控制器使用。

AP250的最大控制流量為5001/min，AP500的最大控制流量為2000L/min，兩種類型的最大控制壓力約為600kPa。

　對(duì)于壓力接頭，AP250 與 1/2" VCR 兼容，AP500 與 3/4" SWAG 或 3/4" VCR 等效件兼容。對(duì)于真空中使用，請(qǐng)使用等效的清潔氣體或惰性氣體作為導(dǎo)體。與所有氣體包括 、腐蝕性氣體和危險(xiǎn)氣體。

日本kk-ace壓力控制器內(nèi)置傳感器高精度測(cè)量 AP250/AP500 規(guī)格參數(shù)

模型 AP250 AP500 

主要用途 用于 FPD、燃料電池 用于 FPD、燃料電池 

目標(biāo)氣體 N2、空氣、H2等 N2、空氣、H2等 

入口壓力 999kPa以下 999kPa以下 

耐壓性 小于1500kPa 小于1500kPa 

壓力設(shè)置 用顯示設(shè)定裝置設(shè)定 用顯示設(shè)定裝置設(shè)定 

控制方式 穹頂內(nèi)氣動(dòng)控制 穹頂內(nèi)氣動(dòng)控制 

控制壓力 0～500kPa 0～500kPa 

最大流量 500升/分鐘 2000升/分鐘 

響應(yīng)時(shí)間 1秒達(dá)到設(shè)定值 1秒達(dá)到設(shè)定值 

輸入信號(hào) 0~5VDC 連續(xù)/關(guān)閉 0~5VDC 連續(xù)/關(guān)閉 

RS485 RS485 

外部傳感器輸入 （4-20mA標(biāo)準(zhǔn)） （4-20mA標(biāo)準(zhǔn)）