PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本e-yamato超高純調(diào)壓閥分析儀壓力調(diào)節(jié)器 SRQ-3HL/SRQ-3LL高鈍度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應(yīng)。消除了滑動部,抑制了微粒的產(chǎn)生。采用波形隔膜,實現(xiàn)壓力高靈敏度。外部硅片采用奧甲基硅片。流動方向也可制作左側(cè)入口(左高壓)型。
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日本e-yamato超高純調(diào)壓閥分析儀壓力調(diào)節(jié)器 SRQ-3HL/SRQ-3LL 特點介紹
高鈍度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應(yīng)。
消除了滑動部,抑制了微粒的產(chǎn)生。采用波形隔膜,實現(xiàn)壓力高靈敏度。
外部硅片采用奧甲基硅片。
流動方向也可制作左側(cè)入口(左高壓)型。
日本e-yamato超高純調(diào)壓閥分析儀壓力調(diào)節(jié)器 SRQ-3HL/SRQ-3LL 規(guī)格參數(shù)
SRQ-3HL
SRQ-3LL
一次側(cè)壓力(MPa)
1~154
2~20
0.7~3
二次倒使用壓力(MPa)
0.2~0.99
0.2~0.8
使用溫度(度C)
-10~40(股計溫度:-10~7攝氏度)1/2
外部響應(yīng)量(Pam/sec)
螺紋接合:1.01x10-以下焊接合:1.02x10-以下
接氣主本體
SUS316L
要部材質(zhì)材算配號分離片
SUS316L
諾科脫明井材
PCTFE
(P1=20MPa型:PEEK)
PTFE
是P.476其他
SUS316L
過濾器粗糙度
40μm
量(kg)
2.3
2.3
標(biāo)準(zhǔn)流量
g/minio.e
1300(P=15MPa.Pe=0.8MPa)
1000(P)=3MPa.Pe=0.8MPa)
最大流量
8/min(om.N)
1600(P:=15MPa.P2=0.8MPa)
1300(P)=3MPa.Pz=0.8MPa)
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002