日本Anelva離子計(jì)熱陰極電離真空計(jì)測量壓力 M-311HG 特點(diǎn)介紹

這是傳感器真空計(jì)系列的離子計(jì)。離子計(jì)（熱陰極電離真空計(jì)）具有優(yōu)異的重復(fù)性和線性度，可以在較寬的范圍內(nèi)測量壓力，使其成為優(yōu)秀的真空計(jì)。

該傳感器采用經(jīng)過驗(yàn)證的微型儀表（MG-2I 型）。

10 -7 Pa 至 10 Pa 的寬壓力測量范圍，使得可以在不犧牲超高真空性能的情況下測量濺射工藝以外的低真空區(qū)域。

高響應(yīng)模擬輸出

壓力值的模擬信號輸出確保100毫秒內(nèi)的高響應(yīng)性，也可用于過程壓力控制。

可根據(jù)應(yīng)用選擇四種發(fā)射電流設(shè)置模式

，例如在高壓區(qū)域使用時提高燈絲壽命

日本Anelva離子計(jì)熱陰極電離真空計(jì)測量壓力 M-311HG 規(guī)格參數(shù)

型號名稱離子計(jì)

M-311HG-SP M-311HG-RS

壓力測量范圍1×10 -7 ~ 10 Pa 

輸入電壓直流20~28V 

能量消耗12W 

模擬輸出0-10V - 

設(shè)定點(diǎn)2點(diǎn)繼電器輸出 

界面-  RS485 

輸入/輸出連接器 Dsub-9（男） 

最大電纜長度 200米（1平方毫米） 

工作溫度限制 5～50℃ 

儲存溫度范圍 -20至70℃ 

傳感器型號名稱微型BA規(guī)（MG-2I系列） 

傳感器材料（主要部分）燈絲：Y 2 O 3 /Ir，外殼：SUS304 

外形尺寸（毫米）110×70×50