日本tem-tech壓力測量傳感器用于粘性、泥漿 SE4000 特點(diǎn)介紹

適合粘性 CMP 漿料的壓力測量。由于

沒有死角，因此不存在 CMP 漿料硬化或氣泡等問題。

PFA 傳感器采用流通式結(jié)構(gòu)，可兼容高粘度

-0.1或0~0.3、0.5、1MPa

兼容電流/電壓輸出、喇叭口、Super300等配件

接液部分：PFA

應(yīng)用：泥漿

高精度陶瓷傳感器與高純度PFA隔膜的接合結(jié)構(gòu)

?接液部材質(zhì)為無需擔(dān)心金屬離子流出的高純度PFA

?采用無封入液的驅(qū)動傳感器，破損時(shí)不產(chǎn)生污染

?傳感器和隔膜雙重結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)1MPa的高壓測量

?也可確認(rèn)負(fù)壓狀況

日本tem-tech壓力測量傳感器用于粘性、泥漿 SE4000 規(guī)格參數(shù)

測定流體藥液、超純水、強(qiáng)酸、不因堿等腐蝕性流體而損害接觸液部材質(zhì)接觸氣體部材質(zhì)PFA隔膜、PFA接觸液部、聚丙烯上部殼體測定范圍0—0.3、0.5、1MPa容許極限壓力0.75MPa（測定范圍0.3、0.5MPa）、1.25MPa（測量范圍1MPa）電源電壓DC24V±10%DC15~24V輸出信號4～20mADC（2線式）0～5VDC、1～5VDC、0～10VDC（3線式）綜合精度±1%FS（標(biāo)準(zhǔn)25°C、直線性、歇斯底里包括再現(xiàn)性）溫度補(bǔ)償范圍15~40°C（無結(jié)冰、結(jié)露）動作溫度范圍0~80°C（無結(jié)冰、結(jié)露）溫度特性±0.5%FS/°C（溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)）相當(dāng)于IP55保護(hù)等級※室內(nèi)規(guī)格安裝螺釘管、PT、NPT、浮動、超級300螺釘尺寸3/8"、1/2"、3/4"、1"（請咨詢其他）電纜取出直連電纜、防水連接器（其他請咨詢）附帶電纜3m標(biāo)準(zhǔn)（2芯+屏蔽線）3m標(biāo)準(zhǔn)（3芯+屏蔽電纜）