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日本Filgen等離子鍍膜機用于導電性薄膜裝置 OPC60A/OPC80T 特點介紹
電子顯微鏡試樣用導電性薄膜制作裝置等離子體涂布機
◆膜專用型(OPC60A)
◆膜/等離子體聚合膜雙用型(OPC80T)
◆導電性超薄膜制膜機構
◆親水化處理機構
◆深型試樣機構
◆可選消耗品
日本Filgen等離子鍍膜機用于導電性薄膜裝置 OPC60A/OPC80T 規(guī)格參數
奧斯米解決等離子涂層原理和特強電子顯微鏡觀察的煩惱!防止充電、粒狀性、對減輕熱損傷發(fā)揮了極大的效果。
奧斯米等離子體涂層是什么?等離子體涂布機是使用“通過直流輝光放電在負輝光相區(qū)域內的等離子體制膜法",主要用于SEM試樣的導電性薄膜制作裝置。
通過等離子體CVD法,可以在短時間內形成非晶質的釹導電性薄膜(釹涂層)。
可獲得具有非常堅固和光滑表面的導電薄膜,而不會對試樣造成熱損傷。
另外,除了標準規(guī)格的釹薄膜機構之外,還配備了使用了環(huán)烷的等離子體聚合膜機構、導電性超薄膜制膜機構、
親水化處理機構、深型試樣機構等擴展性優(yōu)異的產品線,SEM、可對應TEM試樣等各種預處理。
薄膜機構(標準規(guī)格)
●SEM試樣的導電性薄膜
●防止SEM、TEM試樣的污染
●AFM樣品的保護膜
●SPM樣品的導電性保護膜
●SPM用懸臂的保護膜親水化處理機構(可選)
●在氟樹脂表面等上涂覆前處理
●防止包埋樹脂與試樣剝離●提高濕性
●TEM支持膜表面的親水化
●TEM用柵格的親水化
●超微刀用金剛石刀刃尖親水化等離子體聚合膜制膜機構
●FIB試樣用保護膜●防止包埋樹脂與試樣剝離
●氟樹脂的涂層(鄰苯二甲烷-混合涂層)
●TEM柵格用支撐膜
●TEM用超薄切片防漂移導電性超薄膜制膜機構(可選)
●利用FESEM觀察絕緣物的超微細結構
●利用ESCA、AES對絕緣物極表面信息進行定量分析
●TEM試樣的導電性增強
●AFM試樣的靜電防護
●STM試樣的防靜電
●蝕刻(僅限混合氣體方式)深型試樣機構(可選)
●適用于更高試樣的涂層