日本進(jìn)口Arrows晶圓邊緣視覺檢測設(shè)備高精度 ARROWS/日本 WEIM-6800A 特點介紹

這是盒式到盒式自動晶圓邊緣檢查機(jī)。每張檢查時間為 10 秒，節(jié)拍時間為 30 秒，實現(xiàn)了高吞吐量。

機(jī)器人從25片晶圓存儲盒中一張一張取出晶圓，進(jìn)行自動對準(zhǔn)、檢查，然后將其存儲在晶圓盒中。易于操作。

 可以自動檢查劃痕、異物、缺口和裂紋等缺陷。

 我們在每張 30 秒內(nèi)（包括運(yùn)輸時間）進(jìn)行高速檢查。

這是一款增加了新功能、更容易使用的高精度檢查機(jī)。

 緊湊且省電的設(shè)計。交流100V8A

 外形尺寸 w1200×d900×h1600mm 重量 160kg

只需放置好晶圓盒并按下操作按鈕，機(jī)器人就會將晶圓一張一張取出并輸送至檢測站。圖像對準(zhǔn)后，晶圓的外邊緣和三個頂面和底面同時被拍照并檢查是否有劃痕、異物、裂紋和缺口等缺陷，然后返回到晶圓盒中。

通過吸附在晶圓背面進(jìn)行檢查，相機(jī)識別凹口/定向平面并對其進(jìn)行最佳控制。

日本進(jìn)口Arrows晶圓邊緣視覺檢測設(shè)備高精度 ARROWS/日本 WEIM-6800A 規(guī)格參數(shù)

?特點?

1. 可以同時進(jìn)行三個邊緣成像、整個晶圓周邊成像以及缺陷檢查。

2. 三光學(xué)系統(tǒng)允許使用一臺線相機(jī)檢查三個表面。

3. 集成照明為邊緣檢查創(chuàng)造了理想的照明。

4. 可以進(jìn)行包括定向平面/缺口在內(nèi)的外觀檢查。（僅檢查凹口的斜面。）

5. 高性能，測量分辨率為10μm，檢測缺陷尺寸為20μm，通過/失敗判斷缺陷為50μm。

?功能?

1. 自動對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)：利用圖像自動對準(zhǔn)晶圓中心和檢查中心。

2. 三面獨立設(shè)置：可進(jìn)行檢驗條件配方和照明設(shè)置。

3. 復(fù)檢功能：可對判定為NG的晶圓進(jìn)行目視復(fù)檢。

4. 顯示更改功能：通過放大和反轉(zhuǎn)功能，現(xiàn)在可以更輕松地查看原始圖像。

5. 大的污垢和標(biāo)記可以與缺陷分開。